光励起過渡容量応答(O-CTS)測定装置
（DLTSもできます）
DLTS測定装置
（容量、高速パルス、電流でも測定できます）
マイクロ波によるキャリアライフタイム測定装置
時間分解フォトルミネッセンスもできます
電気炉（大）
（1100℃まで到達します）
高温加熱オーブン
赤外加熱炉
（1600℃まで到達します）
3000Vまで印加可能なプローバー
自由キャリア吸収によるキャリアライフタイムマッピング装置
光励起過渡容量応答(O-CTS)測定装置 （DLTSもできます） |
DLTS測定装置 （容量、高速パルス、電流でも測定できます） |
マイクロ波によるキャリアライフタイム測定装置 時間分解フォトルミネッセンスもできます |
電気炉（大） （1100℃まで到達します） |
高温加熱オーブン |
赤外加熱炉 （1600℃まで到達します） |
3000Vまで印加可能なプローバー |
自由キャリア吸収によるキャリアライフタイムマッピング装置 |